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        開(kāi)平硼-11同位素衍生產(chǎn)品可用于半導(dǎo)體芯片

        發(fā)表時(shí)間:2022-09-28 訪(fǎng)問(wèn)量:218807

              開(kāi)平硼-11同位素衍生產(chǎn)品可用于半導(dǎo)體芯片、太陽(yáng)能電池板制作,作為P型摻雜劑離子注入,可使硅離子布植更緊密,產(chǎn)生更高束流,并提高源極化效率,從而生產(chǎn)出高度集成、高密度的微型芯片。

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              高豐度開(kāi)平硼-11酸作為優(yōu)良的硼摻雜劑,在半導(dǎo)體芯片制造業(yè)中起到舉足輕重的作用。由于開(kāi)平硼-10極易捕獲中子,如將自然豐度的硼作為摻雜劑,芯片則沒(méi)有抗輻射能力,來(lái)自宇宙射線(xiàn)的干擾會(huì)導(dǎo)致芯片出現(xiàn)空穴造成晶格缺陷,從而使芯片運(yùn)算出錯(cuò)。因此只有高豐度的硼-11才能作為摻雜劑使用。

              隨著公司硼-10技術(shù)的不斷發(fā)展,硼-11酸已經(jīng)實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn),過(guò)程質(zhì)量可控,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,可為更多新材料的開(kāi)發(fā)與高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)提供有力支撐。 



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